日本科賦樂金屬密封式質(zhì)量流量控制器
日本KOFLOC5400系列質(zhì)量流量控制器-金屬密封
金屬密封，泄漏率1*10-11pa·m³/s以下
適用于高真空、半導(dǎo)體、劇毒、強(qiáng)腐蝕氣體環(huán)境下
±15VDC供電性能穩(wěn)定，0-5V模擬信號更加通用

日本科賦樂金屬密封式質(zhì)量流量控制器

性能參數(shù)

量程(N2)	10SCCM-20SLPM(另外50SLM
精度	±1.0%FS
重復(fù)性	±0.2%FS
響應(yīng)時間	1秒以內(nèi)
耐壓	1.0Mpa
進(jìn)口大壓力	O.3Mpa
動作壓差	0.05-0.3Mpa
泄漏率	1*10-11pa·m³/s以下
溫度范圍	5-45℃
濕度范圍	10-90%RH(不能結(jié)露)
材質(zhì)	本體SUS316L
	密封圈SUS316L、PTFE
電氣接口	DB9
模擬信號	0-5V輸入/輸出
供電	+15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)100mA；
管路連接	標(biāo)配1/4UJR
	選配1/8UJR
重量	約1000g

★使用注意

一：進(jìn)氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用，保證氣體的干燥干凈（濕度不超過90%(一定不能進(jìn)水)、雜質(zhì)粉塵不超過20微米）。

二：用肥皂水對管路進(jìn)行泄漏檢測時，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能噴在儀表或電氣插頭上。

三：安裝前，請將設(shè)備管路進(jìn)行整體吹掃。

四：耐壓1.0Mpa，進(jìn)口大壓力5公斤。

五：需要進(jìn)行零點(diǎn)漂移清零的時候，確認(rèn)進(jìn)/出口沒流量沒壓力下再操作。

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簡要描述：日本科賦樂金屬密封式質(zhì)量流量控制器使用時進(jìn)氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用，保證氣體的干燥干凈（濕度不超過90%(一定不能進(jìn)水)、雜質(zhì)粉塵不超過20微米）。

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簡要描述：日本科賦樂金屬密封式質(zhì)量流量控制器使用時進(jìn)氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用，保證氣體的干燥干凈（濕度不超過90%(一定不能進(jìn)水)、雜質(zhì)粉塵不超過20微米）。