采用無熱漂移，無響應(yīng)滯后的差壓質(zhì)量測(cè)量原理，無熱漂移，可以忽略的溫移和時(shí)漂，長(zhǎng)期穩(wěn)定性0.1%F.S/年，準(zhǔn)確度1.0%，量程可在100：1范圍內(nèi)按鍵設(shè)定，無需標(biāo)定，可以同時(shí)顯示和輸出：瞬時(shí) 流量、累計(jì)流量、壓力、溫度等。

GRYLLS數(shù)字模擬量差壓式質(zhì)量流量控制器

沒有附加的“比熱容"誤差。所以，即使測(cè)量氣體與出廠時(shí)的標(biāo)定氣體不同，也不會(huì)影響測(cè)量精度。

各量程設(shè)備規(guī)格參數(shù)(有關(guān)選配項(xiàng)，請(qǐng)聯(lián)系 Grylls）
全量程質(zhì)量流量控制器	機(jī)械尺寸	氣路過程連接接口規(guī)格
6610系列 0.5-10 sccm	5.83"H x 3.94"W x 1.14"D	G3/8" Female Thread
6610系列 10-100 sccm
6610系列 100-500 sccm
6610系列 500-1000 sccm
6610系列 1000-2000 sccm
6610系列 2-5 slm
6610系列 5-20 slm
6610系列 20-30 slm
6620系列 30-100 slm	6.22"H x 4.53"W x 1.38"D	G3/8" Female Thread
6620系列 100-200 slm
6620系列 200-300 slm
6630系列 300-500 slm	7.13"H x 9.25"W x 2.91"D	G1/2" Female Thread
6630系列 500-1000 slm
6630系列 1000-2000 slm
6630系列 2000-3000 slm
6630系列 3000-6000 slm	7.13"H x 9.25"W x 2.91"Dx2	Double G1/2"Female Thread
1. 低壓損可用質(zhì)量流量控制器請(qǐng)聯(lián)系Grylls。 2. 產(chǎn)品尺寸等參數(shù)值見圖紙。 3. 氣路內(nèi)螺紋與表面密封、快插接頭和卡套接頭等配件兼容。也可根據(jù)用戶要求提供VCR等接頭相兼容。